НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ КРИОГЕННЫЕ С БЫСТРОТОЙ ДЕЙСТВИЯ 800...18000 Л/С
| Назначение: получение сверхвысокого вакуума, свободного от органических загрязнений.
Применение: металлургия чистых металлов, получение специальных оптических покрытий, техника вакуумного напыления, электронная микроскопия, ионная имплантация, имитация космоса, и в других областях науки и техники. |  |
- компрессорная установка с блоком управления (КУ);
- блок криооткачки (БКО);
- гибкие трубопроводы соединяющие КУ с БКО
- ЗИП.
Преимущества:
- откачивают все компоненты воздуха, включая гелий и водород, не вносят собственных органических загрязнений в откачиваемые объемы;
- не выходят из строя при отключении электроэнергии и разгерметизации вакуумных систем;
- обладают высокой надежностью и удобством в эксплуатации, требуют минимального объема технического обслуживания в течении всего срока службы;
- система блокировок обеспечивает безопасную работу, специальные датчики контроля рабочих параметров могут подключаться к системе автоматического управления потребителей.
Технические характеристики
| Обозначение изделия | НВК-160-0,8 | НВК-200-1,5 | НВК-250-3,2 | НВК-320-5 | НВК-400-6,5 | НВК-630-20 | НВК-630-7ХеК | НВК-900-15ХеК |
| Диаметр условного прохода, мм | 160 | 200 | 250 | 320 | 400 | 630 | 630 | 900 |
| Быстрота действия в диапазоне давлений от 5х10-4 до 1х10 -1 Па, л/с | ||||||||
| H2O | 2600 | 4600 | 6500 | 10500 | 18000 | 46000 | 46000 | 93000 |
| Ar | 670 | 1300 | 2200 | 4200 | 5400 | 15000 | - | - |
| Air | 800 | 1500 | 2600 | 5000 | 6500 | 18000 | - | - |
| Xe | 370 | 700 | 1200 | 2300 | 3050 | 8000 | 8000 | 15000 |
| H2(при Р<1х10-2Па) | 1000 | 2000 | 3000 | 5000 | 6000 | 14000 | - | - |
| Предельное остаточное
давление, Па | 1 х 10-8 | 1 х 10-7 | от 1х10 -2 до 1х10-7 | |||||
| Емкость откачки, Па л |
| |||||||
| Air | 7x107 | 1x108 | 2x108 | 3x108 | 3x108 | 1x108 | - | - |
| H2 | 1,2x106 | 1,2x106 | 2x106 | 2,5x106 | 2,5x106 | 6x106 |
|
|
| Время выхода на рабочий
режим, мин. | 60 | 70 | 75 | 90 | 100 | 180 | 60 | 90 |
| Давление запуска, Па | 5 | |||||||
| Потребляемая мощность от сети ~3ф. 220/380 В,
50Гц, кВт | 3,5-4 |
3,5-4 | 4-4,5 | 10 | 15 | |||
| Длина кабелей и
трубопроводов, м | 6...30 | |||||||
| Габаритные размеры блока криооткачки, мм | ||||||||
| Высота
Длина Ширина | 578
407 289 | 555
413 315 | 555
418 343 | 578
453 395 | 585
503 493 | 759
716 716 | 759
716 716 | 749
1091 1091 |
| Габаритные размеры
компрессорной установки, мм | 678 х 730 х 524 | |||||||
| Масса блока криооткачки, кг | 22 | 25 | 27 | 32 | 40 |
100 | 280 | |
| Масса компрессорной
установки, кг | 140 | 2*140 | 3*140 | |||||
Примечания:
1. Изделия выпускаются по договорам (под заказ).
2. По требованиям заказчика изготовляются модификации крионасосов:
- с присоединительными фланцами БКО по различным стандартам (ОСТ 11 868.006-76, ISO-K, ISO-CF и другим по требованию Заказчика);
- с контролем температуры криопанелей платиновым термометром сопротивления с малогабаритным цифровым измерителем;
- с системой ускоренной регенерации (электронагреватели);
- с возможностью работы от одной КУ двух-трех БКО с Ду 100, 160, 200 и 250 мм.
Возможна разработка крионасосов с другими техническими характеристиками по требованиям заказчика.